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定期對真空泵進行檢查和維護是預防故障的重要措施。可以制定詳細的維護計劃，包括清理、潤滑、更換零部件等內容。同時，記錄每次維護的詳細情況，以便后續故障排查和維修。對于復雜的維修工作，建議由具有專業資質的技術人員進行操作。他們具備豐富的經驗和專業的技能，能夠準確判斷故障原因并提供有效的解決方案。同時，他們還可以提供定期維護和保養服務，確保真空泵的長期穩定運行。在進行維修工作時，務必遵守安全操作規范。切斷電源并確認真空泵已停止運行后再進行拆卸和維修工作。同時，佩戴必要的防護用品，如手套、護目鏡等，以防止意外發生。
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在使用真空泵時，應注意避免誤操作。例如，不要隨意調整設備的參數和設置；不要在沒有冷卻的情況下長時間運行真空泵；不要在進氣口處放置雜物等。這些誤操作都可能導致設備故障和溫度升高
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